“它不是光刻机，但重要性仅次于光刻机。”“蚀刻技术将取代光刻成为芯片制造核心。”半导体市场的两则言论，直接将刻蚀设备...
随着晶体管数量的持续增长，我们越来越接近硅的物理和热极限。随着晶体管尺寸的缩小，漏电流不断增大，每平方毫米产生的热量...
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