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专注半导体离子注入机研发,烁科中科信完成超7亿元B轮融资

来源:投资界讯 174101/01

投资界(ID:pedaily2012)12月26日消息,据企查查官网,北京烁科中科信电子装备有限公司(以下简称“烁科中科信”)完成超7亿元B轮融资,由国新基金所属国风投(北京)智造转型升级基金领投。烁科中科信成立于2019年,由中国电科48

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投资界(ID:pedaily2012)12月26日消息,据企查查官网,北京烁科中科信电子装备有限公司(以下简称“烁科中科信”)完成超7亿元B轮融资,由国新基金所属国风投(北京)智造转型升级基金领投。

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烁科中科信成立于2019年,由中国电科48所与北京中科信离子注入业务战略整合组建,是我国半导体离子注入装备领域的龙头企业。公司完整覆盖28nm工艺制程设备,并与行业头部客户深度合作,持续开展先进制程设备的研发工作,构建了涵盖中束流、大束流、高能机、特种及化合物半导体等系列化离子注入机产品体系,累计出货设备超过百台。

烁科中科信主要负责人表示:“高端芯片技术与先进制程半导体设备一直是技术封锁对象。离子注入机作为前道工艺中的关键装备,其先进制程的国产化突破至今尚未实现,是当前亟待攻克的‘硬骨头’。我们专注于攻克半导体离子注入装备关键技术瓶颈,解决国家集成电路制造核心装备‘卡脖子’问题。感谢国新基金及其他专业投资机构的信任与支持,未来,我们将携手各方,共同推动国产离子注入机的科技成果转化与产业化进程。”

国新基金相关投资部门负责人表示:“离子注入机是半导体前道关键装备,技术壁垒极高。烁科中科信在科技部长期支持下,是国内该领域重要的先行者,拥有超过二十年的技术积淀与产品迭代经验。公司不仅实现了成熟制程产品的全谱系覆盖,更在先进制程上取得突破,填补了国内空白,部分关键指标已达到国际一流水平,并获得了下游头部客户的广泛认可,未来发展空间广阔。”

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